1 简介

真空(kong)泵(beng)是一种旋(xuan)转式变容真空(kong)泵(beng)须有前级泵(beng)配合方可使(shi)用在较(jiao)(jiao)宽的压力范(fan)围内有较(jiao)(jiao)大的抽速对被抽除气体(ti)中含(han)有灰尘和(he)水蒸汽不敏感(gan)广泛用于冶金、化工、食品、电子镀(du)膜等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽(kuan)的(de)(de)压力范(fan)围内有(you)较大的(de)(de)抽速(su)；

(2)转(zhuan)子具有良(liang)好的几何对称性，故振动(dong)小(xiao)，运(yun)转(zhuan)平稳。转(zhuan)子间(jian)及转(zhuan)子和壳体间(jian)均有间(jian)隙，不用润滑，摩擦损失小(xiao)，可大(da)(da)大(da)(da)降低驱动(dong)功率，从而(er)可实现(xian)较高转(zhuan)速；

(3)泵腔内无需(xu)用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的(de)污染(ran)；

(4)泵腔内(nei)无压缩，无排气(qi)阀。结(jie)构简(jian)单、紧凑，对被(bei)抽气(qi)体中的灰尘和(he)水蒸(zheng)汽不敏感(gan)；

(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差(cha)；

(6)转(zhuan)子表(biao)面为形状较(jiao)为复杂的曲线柱面，加工和检查(cha)比较(jiao)困难。

3 结构

（1） 泵总(zong)体结构型式

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。

立式结构的进、排(pai)气口水平(ping)设置，装配和(he)连(lian)接管路(lu)都比较方便。但泵的重心较高(gao)，在高(gao)速运转时稳定性差，故(gu)这种型式多用(yong)于小泵。

卧(wo)式泵的进(jin)气(qi)口(kou)在上，排气(qi)口(kou)在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将(jiang)排气(qi)口(kou)从水(shui)平方向接出，即进(jin)、排气(qi)方向是相互垂直的。此(ci)时，排气(qi)口(kou)可以从左或(huo)(huo)右两(liang)个(ge)方向开口(kou)，除(chu)接排气(qi)管道一(yi)端外(wai)，另(ling)一(yi)端堵死(si)或(huo)(huo)接旁通阀。这种(zhong)泵结(jie)构重(zhong)心(xin)低，高速运转时稳定性好(hao)。一(yi)般大、中型(xing)泵多采用此(ci)种(zhong)结(jie)构。

泵(beng)的两(liang)个转(zhuan)子轴与水平(ping)面垂直(zhi)安装。这种结构(gou)(gou)装配(pei)间(jian)隙容(rong)易控制，转(zhuan)子装配(pei)方便，泵(beng)占地面积小。但泵(beng)重心较高且齿(chi)轮拆(chai)装不便，润(run)滑机构(gou)(gou)也相对(dui)复杂。

（2） 泵的传动(dong)方式

真(zhen)空泵(beng)的(de)(de)(de)(de)两(liang)个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)是(shi)通过(guo)一(yi)对高精度齿轮来实现(xian)其(qi)相对同(tong)步运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)(de)(de)(de)。主(zhu)动(dong)轴(zhou)通过(guo)联(lian)轴(zhou)器与电(dian)机联(lian)接。在传(chuan)动(dong)结构(gou)布(bu)置上主(zhu)要有以下两(liang)种：其(qi)一(yi)是(shi)电(dian)动(dong)机与齿轮放在转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)的(de)(de)(de)(de)同(tong)一(yi)侧如(ru)图(tu)。从动(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)由电(dian)动(dong)机端齿轮直接传(chuan)过(guo)去带(dai)动(dong)，这(zhei)样(yang)主(zhu)动(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)轴(zhou)的(de)(de)(de)(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形小，则(ze)两(liang)个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)之间(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)间(jian)(jian)隙不(bu)会(hui)因主(zhu)动(dong)轴(zhou)的(de)(de)(de)(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形大(da)而改变(bian)，故(gu)使转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)之间(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)间(jian)(jian)隙在运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)程中(zhong)均匀。这(zhei)种传(chuan)动(dong)方式的(de)(de)(de)(de)最大(da)缺点(dian)是(shi)：a.主(zhu)动(dong)轴(zhou)上有三个(ge)轴(zhou)承，增加(jia)了泵(beng)的(de)(de)(de)(de)加(jia)工和装配难度，齿轮的(de)(de)(de)(de)拆装及调整也不(bu)便；b.整体(ti)结构(gou)不(bu)匀称(cheng)，泵(beng)的(de)(de)(de)(de)重心(xin)偏向电(dian)动(dong)机和齿轮箱一(yi)侧。

    极(ji)(ji)限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵的(de)一(yi)个(ge)重要参(can)数，是(shi)(shi)反应泵抽气(qi)能力的(de)特性(xing)值，是(shi)(shi)与真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵相关(guan)的(de)一(yi)个(ge)数值，不同的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵可(ke)以有不同的(de)“极(ji)(ji)限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”度。而“理论真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)理论研究时(shi)的(de)一(yi)个(ge)概(gai)念，是(shi)(shi)排除各种(zhong)实际(ji)因素的(de)影(ying)响而提炼出的(de)一(yi)种(zhong)最理想的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器(qi)经(jing)充分抽气(qi)后(hou)，稳(wen)定在某一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度称为极(ji)(ji)限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。通常(chang)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器(qi)须(xu)经(jing)12小(xiao)时(shi)炼气(qi)，再经(jing)12小(xiao)时(shi)抽真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)个(ge)小(xiao)时(shi)每隔10分钟测量一(yi)次，取其10次的(de)平均(jun)值为极(ji)(ji)限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)值。